测量清洁室及工作间的内外压差。
大量程测量。
搭载SD卡插口。
利用LAN端口连接，可简单地建立监视系统。
配备可将记录数据简单图形化的PC软件欧姆龙ZN-PD50C-SA。
用环境可视化软件 （可选件），可实时以波形、
平面图的形式显示检测数据。种类：工作站部。
品名：工作站部。
电源：电池/DC电缆ZN-PD50C-SA
测量生产线及装置周边的温度、
湿度群的测量，搭载SD卡插口。
利用LAN端口连接，可简单地建立监视系统。
配备可将记录数据简单图形化的PC软件。
用环境可视化软件 （可选件），
可实时以波形、平面图的形式显示检测数据欧姆龙ZN-PD50C-SA。品名：传感头部（电缆长度：1.5m）。
测量清洁室及工作间的内外压差。
大量程测量。
搭载SD卡插口。
利用LAN端口连接，可简单地建立监视系统。
配备可将记录数据简单图形化的PC软件。
用环境可视化软件 （可选件），可实时以波形、
平面图的形式显示检测数据。种类：传感头部欧姆龙ZN-PD50C-SA。
品名：传感头部固定型。
通过SD卡简单实现湿温度管理。
群的测量。
1张SD卡，可储存多份数据。
温湿度异常时通过报警输出发出通知。
配备可将记录数据简单图形化的PC软件。品名：微粒测量型0.3μm/0.5μm/1.0μm或以上。
电源：DC电缆欧姆龙空气微粒传感器。
常时监视影响产品质量的灰尘和微粒。
适宜常时测量的紧凑设计。
搭载LAN端口等多种I/F。
测量浮游的微粒。
1台传感器既可测量粗粒，又能调查尘源。空气净化单元。
适用：410mm。
电源规格：空气净化单元供电。
更薄、更大风量的ZN系列灵活、迅速地实现清洁化。
可根据清洁室的尺寸选用的3种尺寸欧姆龙空气微粒传感器。凝缩了控制柜内所需的全部电量监测功能。
符合国际标准的智能电力监视仪。
设计、安装、配线、组装等所有问题可以由这1台解决。
小型并可选择测量多个回路。种类：KM50-E智能电量监测器。
适用电路：单相2线制 AC100～480V ；单相3线制 AC100/200V；
三相3线制 AC100～480V ；三相4线制 AC58～277V欧姆龙空气微粒传感器。
电源电压共用：AC100～240V。
形状：96(H)×48(W)×93(D)。
通信：RS-485。
协议：CompoWay/F：通信节点数31台 Modbus： 通信节点数99台(共用)。
能量分类功能(行业首创)。
通过3色显示的3-STATE功能显示节能改善余地。
装备了易于掌握节能改善余地地的便利3-STATE功能 ZN-PD50C-SA。
3-STATE功能是指根据电力使用状态，，将累计电量分为运转/待机/停止3类的功能欧姆龙ZN-PD50C-SA。
2和3-STATE功能联动，可对运转/待机/停止3点进行单独输出
(判定对象可从功率、电流、电压中选择)
可进行脉冲输入计数、脉冲输入ON时间、单位功耗计测。