种类：工作站部。
品名：工作站部。
电源：电池/DC电缆。
测量生产线及装置周边的温度、
湿度群的测量，搭载SD卡插口。
利用LAN端口连接，可简单地建立监视系统欧姆龙ZN-DPX21-SA。
配备可将记录数据简单图形化的PC软件。
用环境可视化软件 （可选件），
可实时以波形、平面图的形式显示检测数据ZN-DPX21-SA空气净化单元。
适用：250mm。
电源规格：DC24V。
更薄、更大风量的ZN系列灵活、迅速地实现清洁化。
可根据清洁室的尺寸选用的3种尺寸。品名：传感头部（电缆长度：10m）。
测量清洁室及工作间的内外压差欧姆龙ZN-DPX21-SA。
大量程测量。
搭载SD卡插口。
利用LAN端口连接，可简单地建立监视系统。
配备可将记录数据简单图形化的PC软件。
用环境可视化软件 （可选件），可实时以波形、
平面图的形式显示检测数据。种类:记录器部。
品名：记录器部。
电源：电池/DC电缆。
在现场直接 “检查耗电量”。
不需关电源，即可显示耗电量、
记录电池驱动、磁铁安装、薄型欧姆龙ZN-DPX21-SA。
用CT即可进行简单设置。
附有专用PC软件，可简单地将累计耗电量图形化。种类:专用CT部 （分叉型）。
品名：分割型CT；
接插件：分叉电缆连接用电缆长度： 0.2m。
在现场直接 “检查耗电量”欧姆龙微差压站。
不需关电源，即可显示耗电量、
记录电池驱动、磁铁安装、薄型。
用CT即可进行简单设置。
附有专用PC软件，可简单地将累计耗电量图形化。在现场直接 “检查耗电量”。
不需关电源，即可显示耗电量、
记录电池驱动、磁铁安装、薄型。
用CT即可进行简单设置。
附有专用PC软件，可简单地将累计耗电量图形化欧姆龙微差压站。品名：粗粒测量型5μm (10μm) /20μm (30μm) /50μm或以上（ ）。
内的数值可通过设定进行选择。
电源：DC电缆。
常时监视影响产品质量的灰尘和微粒。
适宜常时测量的紧凑设计欧姆龙微差压站。
搭载LAN端口等多种I/F。
测量浮游的微粒。
1台传感器既可测量粗粒，又能调查尘源。种类：传感头部。
品名：传感头部固定型。
通过SD卡简单实现湿温度管理。
群的测量。
1张SD卡，可储存多份数据。
温湿度异常时通过报警输出发出通知。
配备可将记录数据简单图形化的PC软件。种类：分割型变流器(CT) KM20-B40/-FLK专用CT。不能用于其它产品。
一次侧额定电流：600A。
二次侧额定电流：专用输出。
安装：分割型。
协议：CompoWay/F：通信节点数31台 Modbus： 通信节点数99台(共用)。
能量分类功能(行业首创)。
通过3色显示的3-STATE功能显示节能改善余地。
装备了易于掌握节能改善余地地的便利3-STATE功能 ZN-DPX21-SA。
3-STATE功能是指根据电力使用状态，，将累计电量分为运转/待机/停止3类的功能欧姆龙ZN-DPX21-SA。
2和3-STATE功能联动，可对运转/待机/停止3点进行单独输出
(判定对象可从功率、电流、电压中选择)
可进行脉冲输入计数、脉冲输入ON时间、单位功耗计测。