端子部形状:导线直出型。
保护管直径D：φ1mm。
保护管长度L：20cm。
导线种类：耐热用。
品种丰富的高精度温度传感器系列。
在以往的M3螺钉对应品的基础上，
追加有助于降低配线工时的棒状端子对应品E3ZM-T66H使用说明书。
温度传感器是用作温控器的热感应部件。
可根据要测量的温度、场所、 周围环境选择E3ZM-T66H
备有种类、形状、 长度及端子部形状各异的产品。支架材质：不锈钢 (SUS304)。
适用传感器（传感器侧安装孔距）：E3Z，E39-R3。采用了耐药品、耐油性都很优秀的特氟龙（PFA）
能够民晶圆片洗净槽的硫酸等高温液体的检测相对应。（-40 ~ +200℃）
实现了0.5mm的高重复精度。
采用了防止液体的结构E3ZM-T66H使用说明书。端子部形状:导线直出型。
保护管直径D：φ8mm。
保护管长度L：35cm。
导线种类：耐热用。
品种丰富的高精度温度传感器系列。
在以往的M3螺钉对应品的基础上，
追加有助于降低配线工时的棒状端子对应品。
温度传感器是用作温控器的热感应部件。
可根据要测量的温度、场所、 周围环境选择。
备有种类、形状、 长度及端子部形状各异的产品。通过按钮型检测方式的采用，能准确检测以往难以检测的物体。
符合半导体FOUP盒规格，不受地面材质、颜色、反射率的 影响，
准确检测FOUP盒的落座情况。
薄型设计可实现搬运臂上的搭载。
4方向指示灯提高视觉辨识性。
以光学方式检测驱动器的动作，实现超长使用寿检测距离：0-3.5mmE3ZM-T66H使用说明书。
检测方式：按钮型。
输出形式：NPN输出。
动作模式：无负载时 ON。
导线长：1m。小型塑料机壳型。
检测方式：回归反射型。
形状：立式型。
连接方式：接插件式(M12)。
检测距离：红外光300mm。
输出方式：NPN输出。
板状物检查玻璃晶圆片LCD玻璃基板：适用。
圆筒物检查可乐瓶透明瓶子：适用。尺寸：48×48mm。
控制输出1：电压输出(SSR驱动用)。
控制输出2：电压输出(SSR驱动用)。
辅助输出：独立2点。
电源电压：AC100～240V。
端子类型：螺钉端子台型。
输入类别：全量程多输入。
加热器断线、SSR故障检测功能：--。
通信：--。
事件输入：2点。
远程SP输入：--。
传送输出：有。
使用大字体PV显示(白色)，提高可视性。
选择、操作及设定简便。
输入输出点数等的功能性能充实。
支持应用范围更为广泛。
采用高15.2mm的PV显示(白色)，提高可视性。
实现50ms的高速采样。
带辅助输出(最大3点)、事件件输入(最大4点)、传送输出、
远程SP输入功能，支持各种应用程序E3ZM-T66H手册。
E5CCC具有进深60mm的纤细机身E3ZM-T66H手册。
使用通信转换电缆(另售)与计算机相连
后，无需电源接线即可设定。
也可通过CX-Thermo(另售)轻松设定。
通过无程序通信轻松与PLC相连。
通过组件通信可联合温控器。