名称：终端单元。
电源电压：DC24V。
辅助输出：晶体管输出2点（吸收）。
通信功能：端口A或端口B RS-485；连接器端口A。
端子：可拆卸连接器。
控制柜内安装型温控器，灵活的模块化设计，
与上位机的整合性大大提高E3ZM-D87。
小型模块式结构使温度系统的构造最适合于应用。
无须编程就可与可编程控制器进行连接，
减少了梯形图程序设计所需的步数E3ZM-D87
支持全部温度输入信号包括热电偶、铂电阻和模拟量输入，
便于选择并减少了库存要求。
直接连接至G3ZA多通道电力调整器，获取最佳周期控制，
追求高精度调节和低噪声。
使用自动调谐(AT)功能，
可以实现独立的PID加热/冷却控制。放大器分离接近传感器可简单设定高精度的灵敏度E3ZM-D87。
可根据用途选择传感器探头种类，传感器前置放大器-放大 器之间采用耐弯曲电缆。
不易受环境温度影响，温度特性为0.08%/°C （φ5.4型）。
可简单、确实检测设定微米级精度（示教功能）。
可确认检测余量（数字显示）。
高精度的定位、支持甄别检查、变化量最大化“FP （Fine Positioning）功能”。
也备有适用于EtherCAT传感器通信单元/CompoNet通信单元的E2C-EDA0型号。外径φ40 通用型。
增量型。
外径：φ40。
分辨率（最大）：2000P/R。
电源电压：DC5～12V。
输出形式： 电压输出。
分辨率（脉冲/旋转）1：10P/R、200P/R、300P/R、360P/R、400P/RE3ZM-D87。
分辨率（脉冲/旋转）3：500P/R、600P/R、1000P/R。
分辨率（脉冲/旋转）4：1024P/R、1200P/R、1500P/R、1800P/R、2000P/R。尺寸：96×96mm。
本体：端子台型，温度输入型。
种类：控制输出1点型（电源AC100～240V用）。
外壳颜色：银色。
控制输出：继电器输出。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：3点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能/ES1B用电源：单相加热器用检测功能。
事件输入点数：--。
传送输出：--。
通信：RS-232C。
96mm、48×96mm见方的通用温控器已升级＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能，性能进一步提升。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控控器的状态
（自动/手动、RUN/STOP、报警发生），可交互显示PV/SSVE3ZM-D87使用说明书E3ZM-D87使用说明书。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能，可预防维护温控器内部继电器。
增加了3段显示，可同时显示易于理解的当前值/目标值/操作量。
增加了PF键，分配自动/手动、RUN/STOP等，可实现一键操作。