晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式欧姆龙智能激光头指导手册。
使用环保导线（无滑石粉）。检测方式：对射型。
形状：水平模式。
连接方式：接插件式。
检测距离：红光7mE3NC-SH250H
输出方式：PNP输出。端子部形状:端子内置型。
保护管直径D:φ15mm。
元件种类：J（IC）。
保护管长度L：100cm。
品种丰富的高精度温度传感器系列。
在以往的M3螺钉对应品的基础上，
追加有助于降低配线工时的棒状端子对应品欧姆龙智能激光头指导手册。
温度传感器是用作温控器的热感应部件。
可根据要测量的温度、场所、 周围环境选择。
备有种类、形状、 长度及端子部形状各异的产品。通用温控器新增高性能（高分辨率、高速、高精度输入）型产品。
支持简易运算、预防维护。
采用可通过红外线端口从前面进行通信的新型液晶，
可视角度、对比度得以提升欧姆龙智能激光头指导手册。
高分辨率5位显示/可显示0.01°C。
高速采样周期60ms。
全部机型完整多种（能够热电偶/Pt/模拟输入切换），1台机器支持多种传感器。
还支持远程SP。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控器的状态（自动/手动、RUN/STOP、报警发生），
可交互显示PV/SVE3NC-SH250H指导手册。
通过支持软件（CX-Thermo Ver.4.0）进行简易运算功能（AND/OR逻辑和延时）设定，
能够执行柔性的接点输出。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能，可预测温控器内部继电器的故障。
备有位置比例型。小型塑料机壳型。
检测方式：回归反射型。
形状：立式型。
连接方式：接插件式(M12)E3NC-SH250H指导手册。
检测距离：红色光1m。
输出方式：NPN输出。
板状物检查玻璃晶圆片LCD玻璃基板：适用。
圆筒物检查可乐瓶透明瓶子：不适用。尺寸：96×96mm。
本体：端子台型，温度输入型。
种类：控制输出1点型（电源AC100～240V用）E3NC-SH250H指导手册。
外壳颜色：银色。
控制输出：电流输出。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：3点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能/ES1B用电源：--。
事件输入点数：--。
传送输出：可传送输出（使用控制输出）。
通信：RS-232C。
96mm、48×96mm见方的通用温控器已升级＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能，性能进一步提升。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温温控器的状态
（自动/手动、RUN/STOP、报警发生），可交互显示PV/SSV欧姆龙智能激光头指导手册E3NC-SH250H手册。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能，可预防维护温控器内部继电器。
增加了3段显示，可同时显示易于理解的当前值/目标值/操作量。
增加了PF键，分配自动/手动、RUN/STOP等，可实现一键操作。