晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式E5AN-R3HBT-W-N指导手册。
使用环保导线(无滑石粉)。
检测方式:反射型。
检测距离:红外光0~3mm。
动作模式:有晶圆片托架时ON
E5AN-R3HBT-W-N
导线长:2m。放大器分离接近传感器可简单设定高精度的灵敏度。
可根据用途选择传感器探头种类,传感器前置放大器-放大 器之间采用耐弯曲电缆。
不易受环境温度影响,温度特性为0.08%/°C (φ5.4型)E5AN-R3HBT-W-N指导手册。
可简单、确实检测设定微米级精度(示教功能)。
可确认检测余量(数字显示)。
高精度的定位、支持甄别检查、变化量最大化“FP (Fine Positioning)功能”。
也备有适用于EtherCAT传感器通信单元/CompoNet通信单元的E2C-EDA0型号。种类:可插拔式。
尺寸:48×96mmE5AN-R3HBT-W-N指导手册。
控制输出1:继电器输出。
控制输出2:继电器输出。
辅助输出:2点。
通信:--。
加热器断线:1点。
事件输入:2点。
电源电压:AC100~240V。
使用大字体PV显示(白色),提高可视性。
选型、设定及操作更为简捷多组输入/输出,
功能齐全性能更强、功能更完善应用更范围更为广泛欧姆龙E5AN-R3HBT-W-N手册。
E5EC-800的白光LCD-PV显示屏高度约为18mm,
而E5AC-800的白光LCD-PV显示屏高度约为25mm改进了可视性。
主体短小,厚度仅为60mm。
50ms高速采样周期。
新型位置比例控制型号使您还可以控制阀门。尺寸:48×96mm。
本体:端子台型,温度输入型欧姆龙E5AN-R3HBT-W-N手册。
种类:控制输出1点型(电源AC100~240V用)。
外壳颜色:黑色。
控制输出:继电器输出。
控制模式:标准或加热冷却。
辅助输出点数:3点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能/ES1B用电源:单相加热器用检测功能欧姆龙E5AN-R3HBT-W-N手册。
事件输入点数:--。
传送输出:--。
通信:RS-485。
96mm、48×96mm见方的通用温控器已升级&功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能,性能进一步提升。
增加PV/SV状态显示功能,方便查看温控器的状态
(自动/手动、RUN/STOP、报警发生),可交互显示PV/SSVE5AN-R3HBT-W-N指导手册E5AN-R3HBT-W-N。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能,可预防维护温控器内部继电器。
增加了3段显示,可同时显示易于理解的当前值/目标值/操作量。
增加了PF键,分配自动/手动、RUN/STOP等,可实现一键操作。