监测2波长的等离子发光量。
实现了高精度、小型化、低价格。
轻松实现蚀刻和清洁的端点的监测。
轻公地进行蚀刻、清洁的等离子发光的监测。
通过用过滤方式检测2波长，实现小型化、低价格。单位：CPU单元。
名称：经济型（无法连接扩展I/O单元）。
I/O点数：10点。
LCD显示器：是。
电源电压：DC12～24VZJ-FW029AC
输入：6点，DC12～24V。
继电器输出：4点。
按钮、日历和时钟：是。
模拟量输入：是。
使用增强功能和更高精确度，应用范围更广
纤巧本体（70mm宽×90mm高）中的增强功能。
使用LCD和操作按钮可进行简单编程。
此单个单元轻松提供继电器、定时器、计数器和时间切换功能。
使用扩展I/O单元可轻松扩展，最多允许44点I/O。
系列中还新增了经济型和通信型CPU单元。
每周定时器得以提高定时确度得以增强，每月偏差不超过正负15s。
还新增了多日操作和脉冲输出操作。
从以下两个电源选件中选取：AC100～240V或DC12～24V。输入输出电缆。
电缆长度：2m。
同级最高水准的真正除电。
利用传感和可调AC方式实现高速细致的除电。
采用连接结构，保证大范围均匀除电。
数字式离子显示器，轻松准确设定。分类：高灵敏度。
接点间隔：H (0.25mm)。
驱动杆：小型线形摆杆型，OP大。
端子的种类：焊接端子。
以高精度和丰富品种著称最畅销的基本型开关。
断路容量达15A，且精度高。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分割接触型、维持接触型等丰富品种。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型。分类：高容量。
接点间隔：E (1.8mm)。
驱动杆：面板安装横向滚珠柱塞型。
端子的种类：螺丝端子。
以高精度和丰富品种著称最畅销的基本型开关。
断路容量达15A，且精度高。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分割接触型、维持接触型等丰富品种。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型。电源电压：DC24V。
控制输出：NPN输出。光学系统：漫反射型。
检测距离：350正负135mm。
光束形状：点光束。
光束直径：φ240µm。
分辨率：220µm。
电缆长度：0.5m。分类：瞬时动作。
输出数：1位。
操作部颜色：蓝色。
操作部形状：请请查看目录。
内置Z微动开关的长寿型。
通过使用微动开关，可直接开闭大容量负载。
通过操作内部的缓冲结构，保护开关部。
按钮部为防滴型，在有飞溅油、水、尘埃等场所也能使用。
操作部共有3种形状，6种颜色。