电源电缆。
种类：双头接插件型（附带1个铁氧体磁芯(φ30 × 39mm)）。
电缆长度：5m。
同级最高水准的真正除电。
利用传感和可调AC方式实现高速细致的除电ZEN-20C3DR-D-V2。
采用连接结构，保证大范围均匀除电。
数字式离子显示器，轻松准确设定。本体。
总长度：450mm。
有效除电长度：580mmZEN-20C3DR-D-V2
同级最高水准的真正除电。
利用传感和可调AC方式实现高速细致的除电。
采用连接结构，保证大范围均匀除电。
数字式离子显示器，轻松准确设定。监测2波长的等离子发光量。
实现了高精度、小型化、低价格。
轻松实现蚀刻和清洁的端点的监测。
轻公地进行蚀刻、清洁的等离子发光的监测。
通过用过滤方式检测2波长，实现小型化、低价格ZEN-20C3DR-D-V2。种类：可选件。
品名：扩展端子套件（ZR-RX45用）。
有力支持着所有现场的测量场合。
安心的全通道绝缘、支持多功能输入。
最大200CH的扩展性 （ ZR-RX45）。
简单LAN连接 （ ZR-RX45/ZR-RX70）。
光学系统：漫反射型。
检测距离：350正负135mm。
光束形状：点光束。
光束直径：φ240µm。
分辨率：20µm。
电缆长度：2m。分类：防滴型，标准型。
接点间隔：G (0.5mm)。
防滴端子保护盖：无。
驱动杆：反向动作摆杆型。
端子的种类：焊接端子。
以高精度和丰富品种著称最畅销的基本型开关。
断路容量达15A，且精度高。
备有微动开关的基备有保护端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型ZEN-20C3DR-D-V2。本体。
总长度：370mm。
有效除电长度：500mm。
同级最高水准的真正除电。
利用传感和可调AC方式实现高速细致的除电。
采用连接结构，保证大范围均匀除电。
数字式离子显示器，轻松准确设定。分类：防滴型，标准型。
接点间隔：G (0.5mm)。
防滴端子保护盖：无。
驱动杆：反向动作滚珠摆杆型。
端子的种类：焊接端子。
以高精度和丰富品种著称最畅销的基本型开关。
断路容量达15A，且精度高。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分割接触型、维持接触型等丰富品种。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端子部位的安全，
且具有防滴功能能的防滴端子保护盖和塑封端子型ZEN-20C3DR-D-V2通讯手册。品名：微粒测量型0.3μm/00.5μm/1.0μm或以上ZEN-20C3DR-D-V2通讯手册。
电源：DC电缆。
常时监视影响产品质量的灰尘和微粒。
适宜常时测量的紧凑设计。
搭载LAN端口等多种I/F。
高精度测量浮游的微粒。
1台传感器既可测量粗粒，又能调查尘源。