监测2波长的等离子发光量。
实现了高精度、小型化、低价格。
轻松实现蚀刻和清洁的端点的监测。
轻公地进行蚀刻、清洁的等离子发光的监测。
通过用过滤方式检测2波长，实现小型化、低价格ZEN-10C1AR-A-V2手册。喷嘴间隙用。
光学系统：正反射型。
检测距离：10正负0.5mm。
光束形状：线光束ZEN-10C1AR-A-V2
光束直径：900mm×25µm。
分辨率：0.25µm。
电缆长度：2m。单位：CPU单元。
名称：经济型（无法连接扩展I/O单元）。
I/O点数：20点。
LCD显示器：是。
电源电压：AC100～240V。
输入：12点，AC100～240VZEN-10C1AR-A-V2手册。
继电器输出：8点。
按钮、日历和时钟：是。
模拟量输入：否。
使用增强功能和更高精确度，应用范围更广
纤巧本体（70mm宽×90mm高）中的增强功能。
使用LCD和操作按钮可进行简单编程。
此单个单元轻松提供继电器、定时器、计数器和时间切换功能。
使用扩展I/O单元可轻松扩展，最多允许44点I/OZEN-10C1AR-A-V2手册。
系列中还新增了经济型和通信型CPU单元。
每周定时器得以提高定时确度得以增强，每月偏差不超过正负15s。
还新增了多日操作和脉冲输出操作。
从以下两个电源选件中选取：AC100～240V或DC12～24V。品名：传感头部（电缆长度：10m）欧姆龙可编程继电器手册。
高精度测量清洁室及工作间的内外压差。
超大量程高精度测量。
搭载SD卡插口。
利用LAN端口连接，可简单地建立监视系统。
配备可将记录数据简单图形化的PC软件。
用环境可视化软件 （可选件），可实时以波形、
平面图的形式显示检测数据。分类：防滴型，标准型。
接点间隔：G (0.5mm)。
防滴端子保护盖：无欧姆龙可编程继电器手册。
驱动杆：滚珠板簧型。
端子的种类：焊接端子。
以高精度和丰富品种著称最畅销的基本型开关。
断路容量达15A，且精度高。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分割接触型、维持接触型等丰富品种欧姆龙可编程继电器手册。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型。分类：防滴型，标准型。
接点间隔：G (0.5mm)。
防滴端子保护盖：无。
驱动杆：长摆杆型。
端子的种类：焊接端端子ZEN-10C1AR-A-V2编程手册。
以高精度和丰富品种著称最畅销的基本型开关。
断路容量达155A，且精度高ZEN-10C1AR-A-V2手册。
备有微动开关的基本型，根据用途不同，
还有基本型、分割接触型、维持接触型等丰富品种。
标准型中还有微小负载用系列。
备有保护端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保护盖和塑封端子型。