晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mm。
动作模式：有晶圆片托架时ON。
导线长：2mE52-CA_C-N尺寸：48×96mm。
本体：端子台型，温度输入型。
种类：控制输出1点型（电源AC/DC24V用）。
外壳颜色：黑色。
控制输出：电流输出。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：3点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能/ES1B用电源：--。
事件输入点数：--。
传送输出：可传送输出（使用控制输出）。
通信：RS-232C。
96mm、48×96mm见方的通用温控器已升级＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能，性能进一步提升。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控器的状态
（自动/手动、RUN/STOP、报警发生），可交互显示PV/SV。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能，可预防维护温控器内部继电器。
增加了3段显示，可同时显示易于理解的当前值/目标值/操作量。
增加了PF键，分配自动/手动、RUN/STOP等，可实现一键操作。E3Z-T86检测方式:对射型。
连接方式:接插件式 （M8） 。
检测距离:15m。
输出方式：PNP输出。
实现小型、长距离、节省电力和
节省能源的光电传感器的标准型
稳定检测的高功能光纤传感器。
也备有适用于EtherCAT通信单元/CompoNet通信单元的E3X-DA0-S型号。
导线引出/省配线接插件型。
分类：高速响应型。
连接方式：导线引出（2m）。
控制输出：NPN输出。
适用省配线接插件种类：-。
适用省配线接插输出方式：-。尺寸：96×96mm。
种类：电源AC100～240V用。
外壳颜色：黑色。
控制输出1：输出单元方式。
控制输出2：输出单元方式。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：2点。
加热器用断线、SSR故障检测功能：单相或三相加热器用检测功能。
事件输入点数：4点。
传送输出：--。
远程SP：4～20mA输入。
通信：--。
通用温控器新增高性能（高分辨率、高速、高精度输入）型产品。
支持简易运算、预防维护。
采用可通过红外线端口从前面进行通信的新型液晶，
可视角度、对比度得以提升。
高分辨率5位显示/可显示0.01°C。
高速采样周期60ms。
全部机型完整多种（能够热电偶/Pt/模拟输入切换），1台机器支持多种传感器。
还支持远程SP。
增加PV/SV状态显示功能，方方便查看温控器的状态（自动/手动、RUN/STOP、报警发生），
可交互显示PV/SV。
通过支持软软件（CX-Thermo Ver.4.0）进行简易运算功能（AND/OR逻辑和延时）设定，
能够执行柔性的接点输出。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能，可预测温控器内部继电器的故障。
备有位置比例型。