晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的方式设定落座位置。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mm。
动作模式：有晶圆片托架时ON。
导线长：2mE2B-S08LS01-MC-C2大显示屏+状态指示灯。
新增动作模式指示灯(L•ON/D•ON)和示教状态指示灯，
使用状态一目了然。
连接方式：接插件式。
输出方式：PNP输出。本体：程序型。
尺寸：96×96mm。
类型：基本型（1输入）。
控制模式：标准控制、加热冷却控制。
输出（控制/传送）点数：2点（脉冲+脉冲/电流）。
输助输出（SUB）点数：10点。
事件输入点数：10点。
串行通信：RS-485。
全新推出高速、高精度数字调节仪（程序型）！
可设定多达32种程序。
1台可协调运行多达4个通道。
50ms的高速采集。
用CX-Thermo在计算机上轻松设定。尺寸：96×96mm。
本体：端子台型，温度输入型。
种类：控制输出1点型（电源AC100～240V用）。
外壳颜色：银色。
控制输出：继电器输出。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：3点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能/ES1B用电源：单相加热器用检测功能。
事件输入点数：2点。
传送输出：--。
通信：--。
96mm、48×96mm见方的通用温控器已升级＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能，性能进一步提升。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控器的状态
（自动/手动、RUN/STOP、报警发生），可交互显示PV/SV。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能，可预防维护温控器内部继电器。
增加了3段显示，可同时显示易于理解的当前值/目标值/操作量。
增加了PF键，分配自动/手动、RUN/STOP等，可实现一键操作。本体：导线引出型，长距离型。
形状：屏蔽，M12。
检测距离：4mm。
输出形式：直直流2线式（无极性）。
动作模式：NO。
防飞溅的氟树脂涂层型接近传感器。
拔群的耐喷溅性。
系列中中增加了长距离型。最长检测距离15mm。
直流2线式。
备有接插件中继型。E3Z-G61-S0SHW-E5按用途选择有1光轴型和11光轴型
防止相互干扰功能、 EN标准规格
无需光轴调整的凹槽型光电传感器