导线长度：4m。
品种丰富的高精度温度传感器系列。
在以往的M3螺钉对应品的基础上，
追加有助于降低配线工时的棒状端子对应品。
温度传感器是用作温控器的热感应部件E5AN-Q3HTD-N手册。
可根据要测量的温度、场所、 周围环境选择。
备有种类、形状、 长度及端子部形状各异的产品。尺寸：48×96mmE5AN-Q3HTD-N
本体：端子台型，温度输入型。
种类：控制输出1点型（电源AC100～240V用）。
外壳颜色：黑色。
控制输出：电流输出。
控制模式：标准或加热冷却。
辅助输出点数：3点。
加热器用断线、SSR故障、加热器过电流检测功能/ES1B用电源：--E5AN-Q3HTD-N手册。
事件输入点数：--。
传送输出：可传送输出（使用控制输出）。
通信：RS-485。
96mm、48×96mm见方的通用温控器已升级＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了预防维护功能，性能进一步提升。
增加PV/SV状态显示功能，方便查看温控器的状态
（自动/手动、RUN/STOP、报警发生），可交互显示PV/SVE5AN-Q3HTD-N手册。
增加控制输出ON/OFF次数计数功能，可预防维护温控器内部继电器。
增加了3段显示，可同时显示易于理解的当前值/目标值/操作量。
增加了PF键，分配自动/手动、RUN/STOP等，可实现一键操作。种类：带端子块的控制器。
尺寸：1/8DIN，48×96×78mm欧姆龙E5AN-Q3HTD-N使用说明书。
电源电压：AC/DC24V。
输入种类：热电偶或铂电阻。
报警输出：3点。
控制输出：电压输出（用于驱动SSR）。
加热器断线：是。
安装可选单元：有。
畅销的多用途温控器现在更为出众。
温控器现在可进行模拟输入。
更快速的采样速度250ms。
提供传送输出，可简单输出到记录器欧姆龙E5AN-Q3HTD-N使用说明书。
带有回路断开报警（LBA）和加热器短路报警（HS报警）的型号可选。
简单设置11段显示屏。
配备了手动输出功能。
带通信的型号安装新协议Modbus。
USB串行转换电缆可选。抗干扰光的变调光，易维护的接插件型欧姆龙E5AN-Q3HTD-N使用说明书。
接插件内置于本体。
使用方便的4种形状。死角极小。
振动时也能安全动作的带锁定构造式接插件。
使用可轻松购买到的M3螺钉进行安装。
电源电压在DC5～24V的广范围。
检测方式：对射型（凹槽型）。
检测距离：3.6mm。
输出形式：NPN。
动作模式：入光时ON。晶圆片托架的落座检测。
通过与导槽并用的的方式设定落座位置E5AN-Q3HTD-N。
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂脂E5AN-Q3HTD-N手册。
独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
采用抗干扰光的变调光方式。
使用环保导线（无滑石粉）。
检测方式：反射型。
检测距离：红外光0~3mm。
动作模式：有晶圆片托架时ON。
导线长：2m。